Basiskurs
: HL-Chemie Grundlagen und Sicherheit

Die Teilnehmer des Kurses

• kennen grundlegende Zusammenhänge der Chemie, können chemische von physikalischen Vorgängen unterscheiden, verstehen die Ursachen für chemische Reaktionen und kennen wichtige Arten chemischer Reaktionen
• kennen die Gefahren, die von Chemikalien und Gasen ausgehen, wissen, wie sie sich und ihre Umwelt gegen die Gefahren schützen können und was im Falle eines Unfalls zu unternehmen ist
• können eingesetzte Chemikalien und Gase den technologischen Prozessen zuordnen und kennen Eigenschaften der Chemikalien und Gase gemäß der Gefahrenstoffverordnung
• sind vorbereitet, um betriebliche Verantwortlichkeiten, die betrieblichen und gesetzlichen Regeln zur Arbeitssicherheit im Unternehmen zu verstehen
• können die unter „Lockout/Tagout“ festgelegten Tätigkeiten wiedergeben und deren Bedeutung erläutern.

1. Chemische Grundlagen                                                               (4 UE)

• Aufbau der Stoffe
  – Atommodell nach Niels Bohr
  – Periodensystem der Elemente nach Mendelejew
  – Eigenschaften der chemischen Elemente (Metalle, Halbleiter, Nichtmetalle)
• Chemische Gemische und Verbindungen
  – Physikalische und chemische Reaktionen und Verbindungen
  – Eigenschaften von Gemischen (Begriffe Aggregatzustand, Mol, Masse, Konzentration)
  – Eigenschaften von chemischen Verbindungen
  – Ursachen chemischer Bindungen und Reaktionen von Elementen und Verbindungen
  – Reaktionstypen (Analyse, Synthese, Stoffumsetzung)
  – Charakter von Reaktionen (Reduktion, Oxidation, Ionisierung)
  – Arten von chemischen Bindungen (Ionenbindung, Atombindung, Metallbindung)
  – Reaktion unterschiedlicher Verbindungen untereinander (Kompatibilität von Chemikalien)
  – Eigenschaften chemischer Bindungen in Abhängigkeit von den beteiligten Elementen
  – Feste chemische Verbindungen, Säuren, Basen, Gase

• Gefahren für Mensch und Umwelt ausgehend von den Eigenschaften der Chemikalien und Gase
  – Verätzungen
  – Vergiftungen
  – Brand- und Explosionsgefahr

2. Einsatz von Chemikalien und Gasen im Halbleiterprozess   (6 UE)

• Übersicht über technologische Prozesse und eingesetzte Chemikalien
  – Einteilung des Prozessequipments in Cluster
  – Erläuterung der Gesamtliste der Chemikalien zur Information
  – Anforderungen an die Reinheit der Chemikalien im Halbleiterprozess
  – Materiallogistik und Handling der Chemikalien

• Chemikalien- und Gaseinsatz und Reaktionen bei ausgewählten Prozessbeispielen
  – Nassprozesse (Reinigung SC1 / SC2, Nassätzen von SiO₂ mit HF und NHF₄)
  – CVD (Epitaxie mit Silan, LTO mit Dichlorsilan)
  – Oxidation mit HCL-Einsatz
  – Plasmaätzen (Si-Ätzen mit HBr, NF₃)
  – Ionenimplantation (As-Implantation mit AsH₃)

3. Schutz vor gefährlichen Chemikalien und Gasen (2 UE)

• Maßnahmen zum Schutz der Umwelt
  – Gefahrenstoffverordnung
  – Gefahrenkennzeichnung von Chemikalien und Gasen
  – Chemikalienentsorgung und Abgasreinigung

• Maßnahmen zum Schutz des Menschen
  – Arbeitsschutzbestimmungen (Europäische, nationale, betriebliche)
  – Persönliche Schutzausrüstung (PSA)
  – Besonders gefährdete Tätigkeiten (Transport, Instandhaltung, Reinigung)
  – Beispiele für die Anwendung von Schutzmaßnahmen
  – Alarmierung bei Gefährdung
  – Erste Hilfe bei Arbeitsunfällen (bei speziellen Chemikalien und Gasen)

• Schutz durch technische Einrichtungen und das Equipment
  – Was ist Eigensicherheit
  – Schutz vor dem Austreten gefährlicher Gase
  – Bedeutung der Absaugung bei Nassprozessen

4. Lockout / Tagout (4 UE)

• Was bedeutet Lockout / Tagout
  – Lockout / Tagout als Bestandteil der betrieblichen und gesetzlichen Regeln zur Arbeitssicherheit in einem Unternehmen
• Der Begriff der „gefährlichen Energiequelle“
  – Die Arten „gefährlicher Energie“
  – Maßnahmen zum Abschalten gefährlicher Energiequellen
  – einzusetzendes Equipment
• Grund zur Anwendung von Lockout / Tagout
  – Arbeitsschutzvorschriften (BetrSichV, DGUV)
  – Besondere Gefährdung bei Instandsetzungsarbeiten
• Verantwortlichkeiten und betriebliche Regelungen
  – Der Gesamtprozess „Lockout / Tagout“ im Unternehmen
  – Die Prozeduren Abschalten und In Betrieb Nehmen