Basiskurs
: HL-Chemie Grundlagen und Sicherheit

Zielgruppe

Mitarbeiter der Halbleiterindustrie, die praxistaugliche Kenntnisse über HL-typische Chemikalien, deren Gefährdungspotenzial und den sicheren Umgang mit den Chemikalien benötigen

Ort

Manfred-von-Ardenne-Ring 20, Haus A
01099 Dresden

25. November 2019

Ziel

Die Teilnehmer des Kurses

  • kennen grundlegende Zusammenhänge der Chemie, können chemische von physikalischen Vorgängen unterscheiden, verstehen die Ursachen für chemische Reaktionen und kennen wichtige Arten chemischer Reaktionen
  • kennen die Gefahren, die von Chemikalien und Gasen ausgehen, wissen, wie sie sich und ihre Umwelt gegen die Gefahren schützen können und was im Falle eines Unfalls zu unternehmen ist
  • können eingesetzte Chemikalien und Gase den technologischen Prozessen zuordnen und kennen Eigenschaften der Chemikalien und Gase gemäß der Gefahrenstoffverordnung
  • sind vorbereitet, um betriebliche Verantwortlichkeiten, die betrieblichen und gesetzlichen Regeln zur Arbeitssicherheit im Unternehmen zu verstehen
  • können die unter „Lockout/Tagout“ festgelegten Tätigkeiten wiedergeben und deren Bedeutung erläutern.

Inhalt

  1. Chemische Grundlagen                                                               (4 UE, 1. Tag)
  • Aufbau der Stoffe
    – Atommodell nach Niels Bohr
    – Periodensystem der Elemente nach Mendelejew
    – Eigenschaften der chemischen Elemente (Metalle, Halbleiter, Nichtmetalle)
  • Chemische Gemische und Verbindungen
    – Physikalische und chemische Reaktionen und Verbindungen
    – Eigenschaften von Gemischen (Begriffe Aggregatzustand, Mol, Masse, Konzentration)
    – Eigenschaften von chemischen Verbindungen
    – Ursachen chemischer Bindungen und Reaktionen von Elementen und Verbindungen
    – Reaktionstypen (Analyse, Synthese, Stoffumsetzung)
    – Charakter von Reaktionen (Reduktion, Oxidation, Ionisierung)
    – Arten von chemischen Bindungen (Ionenbindung, Atombindung, Metallbindung)
    – Reaktion unterschiedlicher Verbindungen untereinander (Kompatibilität von Chemikalien)
    – Eigenschaften chemischer Bindungen in Abhängigkeit von den beteiligten Elementen
    – Feste chemische Verbindungen, Säuren, Basen, Gase
  • Gefahren für Mensch und Umwelt ausgehend von den Eigenschaften der Chemikalien und Gase
    – Verätzungen
    – Vergiftungen
    – Brand- und Explosionsgefahr
  1. Einsatz von Chemikalien und Gasen im Halbleiterprozess   (4 UE, 1. Tag / 2 UE, 2. Tag)
  • Übersicht über technologische Prozesse und eingesetzte Chemikalien
    – Einteilung des Prozessequipments in Cluster
    – Erläuterung der Gesamtliste der Chemikalien zur Information
    – Anforderungen an die Reinheit der Chemikalien im Halbleiterprozess
    – Materiallogistik und Handling der Chemikalien
  • Chemikalien- und Gaseinsatz und Reaktionen bei ausgewählten Prozessbeispielen
    – Nassprozesse (Reinigung SC1 / SC2, Nassätzen von SiO2 mit HF und NHF4)
    – CVD (Epitaxie mit Silan, LTO mit Dichlorsilan)
    – Oxidation mit HCL-Einsatz
    – Plasmaätzen (Si-Ätzen mit HBr, NF3)
    – Ionenimplantation (As-Implantation mit AsH3)
  1. Schutz vor gefährlichen Chemikalien und Gasen (2 UE, 2. Tag)
  • Maßnahmen zum Schutz der Umwelt
    – Gefahrenstoffverordnung
    – Gefahrenkennzeichnung von Chemikalien und Gasen
    – Chemikalienentsorgung und Abgasreinigung
  • Maßnahmen zum Schutz des Menschen
    – Arbeitsschutzbestimmungen (Europäische, nationale, betriebliche)
    – Persönliche Schutzausrüstung (PSA)
    – Besonders gefährdete Tätigkeiten (Transport, Instandhaltung, Reinigung)
    – Beispiele für die Anwendung von Schutzmaßnahmen
    – Alarmierung bei Gefährdung
    – Erste Hilfe bei Arbeitsunfällen (bei speziellen Chemikalien und Gasen)
  • Schutz durch technische Einrichtungen und das Equipment
    – Was ist Eigensicherheit
    – Schutz vor dem Austreten gefährlicher Gase
    – Bedeutung der Absaugung bei Nassprozessen
  1. Lockout / Tagout (4 UE, 2. Tag)
  • Was bedeutet Lockout / Tagout
    – Lockout / Tagout als Bestandteil der betrieblichen und gesetzlichen Regeln zur Arbeitssicherheit in einem Unternehmen
  • Der Begriff der „gefährlichen Energiequelle“
    – Die Arten „gefährlicher Energie“
    – Maßnahmen zum Abschalten gefährlicher Energiequellen
    – einzusetzendes Equipment
  • Grund zur Anwendung von Lockout / Tagout
    – Arbeitsschutzvorschriften (BetrSichV, DGUV)
    – Besondere Gefährdung bei Instandsetzungsarbeiten
  • Verantwortlichkeiten und betriebliche Regelungen
    – Der Gesamtprozess „Lockout / Tagout“ im Unternehmen
    – Die Prozeduren Abschalten und In Betrieb Nehmen

Teilnehmer

max. 12 Teilnehmer

Preisinfo

Preis auf Anfrage. Förderung mit Bildungsgutschein ist möglich.

Kontaktperson

Ralf Bormann

Fax

0351 - 8925 251